一种改性POSS分子、嵌段共聚物及其制备方法和应用
类别 : 发明授权
专利号 : ZL202311541607.6
交易种类: 专利权属人: 华南理工大学
IPC分类: C08G 专利有限期限: 2023-11-20
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专利信息
专利名称 一种改性POSS分子、嵌段共聚物及其制备方法和应用 申请号/专利号 ZL202311541607.6
行业分类 电子信息 权属人所属地域 广东
IPC分类 C08G 专利类别 发明授权
专利摘要
本发明涉及材料技术领域,提供了一种改性POSS分子、嵌段共聚物及其制备方法和应用。该改性POSS分子具有式Ⅰ结构:;其中,式Ⅰ中的R代表,n为2~9的整数。本发明提供的改性POSS分子具有化学结构精确、稳定性好、含硅量高、刻蚀对比度高,且可形成一系列小于10nm的微纳结构等优点,可应用于纳米图案化、纳米多孔材料、纳米光刻等领域。
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